量化檢測課堂｜特氣管路五項檢測詳解
2021-09-26 16:15:22
特氣管路五項檢測包括哪些測試？在測試過程中有哪些技巧和注意事項？量化檢測課堂帶你一起了解：設備主管路主要是通各種特種氣體,需做測試項目有：保壓測試、氦檢測試、水分測試、氧分測試、顆粒測試。
保壓測試
2.1測試目的
確保管路輸送系統沒有明顯的泄漏，以便對管路系統進行氦測漏
2.2測試規則
測試時間為24小時，測試壓力不能小于設計壓力的1.15倍，經溫度糾正后的允許壓力降為不大于開始壓力的1%.壓力變化方程式(考慮到溫度影響)
2.3測試方法
1. 將氣源用金屬管道連接至系統入口端。
2. 慢慢打開隔離閥。
3. 每次增加 10 PSIG，緩慢的將系統壓力增加到最終測試壓力的50% 。觀察壓力表10 到15 分鐘，看系統有無泄漏。如壓力表顯示系統有泄漏，則減小系統壓力并處理漏點。重復上述操作。
4. 確認系統無任何泄漏后，慢慢的增加系統壓力到測試值，斷開氣源，記錄好溫度、時間、壓力值，24H后觀察壓力是否有壓降。
5. 在系統的壓力穩定并顯示無任何壓降后，在壓力測試報告中記錄測試開始時的溫度、時間和壓力值。
2.4測試結束后注意事項
1. 在測試報告中記錄下測試的參數。將系統的壓力釋放，在進行氦測漏之前用高純N2對系統進行持續的吹掃0.5H。
2. 將壓力測試用的管線拆除，用堵頭來密封系統并使用新的墊片。
3. 如果由溫度所引起的壓力下降超過了要求，通過關閉測試范圍內的系統閥門來 開所有的潛在漏點，觀察各個不同隔離部分的壓降。
4. 在將漏點隔離和修復之后，重復上述測試步驟。
3． 氦質譜檢漏測試
氦檢測試
3.1測試目的
利用氦質譜儀感測漏入系統中的微量的氦氣來測漏，并根據檢測到的氦氣的量來確定漏率的大小。
3.2相關名詞及解釋
真空度：處于真空狀態下的氣體稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。
3.3測試前準備
1. 系統成功的的通過了保壓檢漏。
2. 確認系統的所有部件都能承受得住真空狀態而不損壞。
3. 先對測漏儀本身閥組及連接管路進行漏率檢測。
4. 測漏儀與系統管路接通前，要將被測系統內的氣體釋放掉。
5. 緩緩打開測漏儀入口處的閥門，將測漏儀與管路系統隔離閥之間的管路抽真空，直至測漏儀顯示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。
6. 對連接管路上所有的焊道及機械連接處進行氦氣噴吹。
3.4測試方法
1. 確認系統中所有的閥門和調壓閥都是全開的。
2. 確認系統中的壓力為0，如果系統中還有正壓，要先將系統中的氣體放掉。
3. 緩緩打開檢漏儀入口處的閥門，開始將系統抽成真空狀態。遵照檢漏儀的操作說明操作，直至達到可以檢測的狀態。
4. 記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以進行噴吹工作。
5. 從最靠近檢漏儀的焊道或連接處開始檢測，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會停留在焊道或連接處一段時間，確認沒有泄漏后，進行下一個焊道或連接處的檢測，直到最后一個焊道或連接處。
6. 如果發現檢漏儀的指示值有上升的現象，待到檢漏儀讀值恢復正常后，重新檢測該焊道或連接處以確認其是否真的有漏，如果確認不是該焊道或連接處有漏，要依次檢測該焊道或連接處之前的焊道或連接處，直到找到漏點為止。
7. 直至所有的接點都被檢測到，檢測合格的接點要貼合格標志。所有的接點都噴吹過氦氣后，繼續觀察檢漏儀的讀值10分鐘左右，確認讀值沒有異常后才可以將系統與儀器之間分離開。
8. 如果每個接點的氦氣漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s，說明該系統的漏率是符合要求的。測試人員可以將檢測結果記錄在檢測報告里了。
9. 將檢漏儀與系統分開。
4．水分、氧分、顆粒檢測（三臺儀器并聯使用）
4.1測試目的和測試標準
水分檢測的目的主要是為了避免管道內水含量過高時，會發生化學反應，對制程造成影響。氧分檢測的目的主要是為了避免管道內氧含量過高時，會發生化學反應，對制程造成影響。例如，芯片在生產過程中，原本大氣中O2會和Si產生化學反應:O2+Si=SiO2,為原始的氧化成，如果管道內的氧含量過高，原始的氧化層會超出原本已經計算好的厚度，如此會嚴重影響接下來各階段的制程。顆粒檢測主要是檢測管道內微粒子的粒徑大小和數量多少。
4.2測試方法
1. 將吹掃氣源連接到系統進氣端，所有閥門處于開啟狀態。
2. 連續吹掃2H后用金屬管路連接系統出氣端至測試儀器進氣端。使氣體通入儀器，10分鐘后打開電源，設置儀器各項參數后開始測試。
3. 待測試數據達到標準要求后，記錄測試數據，關閉進氣端和出氣端閥門，使管道內保持正壓。
4. 測試儀器斷電，儀器與設備分離。