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首頁 服務(wù)項(xiàng)目 > 特氣管道五項(xiàng)檢測(cè)
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氧含量檢測(cè)

產(chǎn)品描述：

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晶片在生產(chǎn)過程中，原本大氣中O2會(huì)和Si產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)得O2+Si=SiO2（二氧化矽）為原始的氧化層，如果管路的氧含量過高，原始的氧化層會(huì)超出原本已計(jì)算好的厚度，如此會(huì)嚴(yán)重影響接下來各階段的制程。

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